计量型扫描电子显微镜标定的

S1000放大倍率标准样品的结果

中国计量院研制的计量型扫描电镜测量装置具有与计量型扫描力显微镜相同的溯源路径（德国PTB），因此，其测量值也具有最佳的可以直接溯源到国际米定义单位的溯源性。同时，我国计量院不尽研制了计量型扫描电镜测量装置，而且也制定了相应的测量校准的技术规范，为我国扫描电镜放大倍率标准样品的标定值的准确性提供了更好的保证。特别是在当今国际上只有为数极少极少的这一类型仪器在运转的情况下，使我们的扫描电镜（电子探针）放大倍率标准样品和测长标准样品具有更好的竞争力。

下图是近日S1000的实测结果，实测结果的6个数据再次表明，计量型扫描电镜测量装置的测量的结果非常精彩，同时也表明S1000的格栅标定值得不确定度相当好。

我们新近复研制的S5000和S1000等扫描电镜（电子探针）放大倍率标准样品，都可以同时提供计量型扫描电镜的校准报告。对于正在使用中的标准样品也可提供新的校准。 这只有极少数美国NIST的长度标样才有可能提供这样的校准数据。

计量型扫描电镜测量装置的简单说明微纳米测量是在微纳米水平上对物质的尺度和形状、光学、电学、磁学等性质进行精密测量的方法和手段,其中最基本的测量挑战就是微纳米尺度的精确测量。扫描电子显微镜以具有的高分辨力、大景深、测量范围广和成像速度快等优点已逐渐成为100nm以下微微纳几何结构的主要的观察和测量仪器之一。但目前不同厂家生产的商用扫描电子显微镜(SEM)之间微纳米测量值无法溯源到统一基准且有较大测量误差的问题,严重制约了SEM在微纳米尺度精确测量中的发展。

计量型扫描电镜测量装置正是针对这一状况，用以解决微纳米几何结构的精确测量和SEM的量值溯源。其关键的技术要点是：在传统的扫描电镜基础上，附加上具有微纳米位移的样品台，并使其扫描成像，同时使用激光干涉仪进行量值溯源，使传统的扫描电镜成为通过直接溯源到激光波长及国际米单位的真正的微纳米长度的计量型测控系统。这个系统的难度在于，样品台运动控制子系统、激光干涉位移测量子系统和图像采集与处理子系统等整个实验装置要求的可控误差均小于几个纳米，系统整体的稳定性绝对可靠，才能保证测量示值误差达到纳米量级。