什么是扫描电镜必须的最低配置的标样

扫描电镜的基本性能包括形态、成分和某些结构信息的测定。现在已有下列多个国家标准对这些性能的检验和测定有所规定：

JJG550-1988  《扫描电子显微镜国家计量检定方法》

GB/T 20726-2006  《半导体探测器能谱仪通则》

GB/T 25189-2010《微束分析 扫描电镜能谱仪定量分析参数的测定方法》

GB/T 17359-2012/ISO 22309:2006 《微束分析 能谱法定量分析》

GB/T 17359-1998  《电子探针和扫描电子显微镜X射线能谱定量分析通则》

GB/T 27788-2011/ ISO 16700：2004、2016《微束分析 扫描电镜 图像放大倍率校准导则》

JJG(教委)010-1996《分析型扫描电子显微镜检定方法

GB/T 19501 《电子背散射衍射分析方法通则》

在仪器验收时，每个仪器厂家也都较为认真地执行了这些标准，并进行了必要的检测。但是，由于扫描电镜的合同中缺少有关标样及其检验的约定，几乎极少见到厂家提供日常检验用的标样。在验收后，用户更无法按照标准规定，检验自己的仪器性能和状态。这与电子探针的合同形成了鲜明的对照，在电子探针合同中，标样是一项标配的内容。

根据最近“中华微束分析技术平台”上最近提出的《扫描电子显微镜基本性能测定方法》的建议稿，对于扫描电镜（含电子探针）应该在一、两年内至少进行如下表所列的一些检验，并同时准备相应的检定用标样。因此 Au-C纳米分辨率标样、S5000或S1000放大倍率和测长标样、EDS12能谱组合标样、背散射分辨标样和（单晶硅或单晶镍标样）等是每台扫描电镜必须标配的最低配置标样。

对于扫描电镜的能谱（EDS）有较高的元素定量分析要求的仪器，或扫描电镜配备了波谱仪的仪器，标样的配备则需要按照电子探针仪的要求，配备更多的成分组合标样，如金属组合标样、氧化物组合标样、硫化物组合标样、稀土组合标样、矿物组合标样等。                                              

扫描电镜（包括电子探针）的几个必检性能项目和所用标样