扫描电镜标样的必须之一-S1000放大倍率和测长标样的最新一组照片
S1000扫描电镜放大倍率和测长标样是采用微电子技术加工的微纳米光栅模板产品外形为6x6mm的单晶硅片，厚度0.6mm,表面有多种微米、纳米的双向金线条，其图形见右图所示，共有八个不同尺度主要光栅区。是目前国内外唯一一个最适宜扫描电镜放
大倍率校准和微纳米长度测量的标准样品：
1、可从最低20倍开始检验放大倍率
2、可以实现任何倍率下的双向的检验
3、校准精度高
下面8张照片显示了在不同放大倍率下的漂亮图形和长度的绝佳精度（放大观察，蔡司电镜）。这再次说明，标样的无比优良和扫描电镜（电子探针）测长的有效性和精确的程度。
测量比对用标准是美国NIST SRM 2800 microscope magnification standard.
光栅区域 | 大方格 | 中方格 | A | B | C | D | E1 | E2 |
x向水平栅距 及不确定度 | 2000.6μm ± 2μm | 1200.4μm ±1μm | 40000.6 ± 4 nm | 20000.4 ± 2 nm | 10000.2 nm ± 2 nm | 5000.0 nm ±1.5 nm | 2000.4 nm ± 1 nm | 1000.4 nm ± 0.8 nm |
y向水平栅距 及不确定度 | 2000.6μm ± 2μm | 1200.4μm ±1.2μm | 40000.6 ± 5 nm | 20000.4 ± 3nm | 10000.2 nm ± 1.5 nm | 1000.0 nm ±1 nm | 1000.4 nm ± 1 nm | 1000.4 nm ± 0.9 nm |
正交性 及不确定度 | 90.00 ± 0.01o | 90.00 ± 0.01o | 90.00 ± 0.01o | 90.00 ± 0.01o | 90.00 ± 0.01o |
|
|
|
栅距非均匀性 (包括不同模版间) |
|
| ≤0.2％ | ≤0.3％ | ≤0.3％ | ≤0.5％ | ≤1％ | ≤1.5％ |
