MICROBEAM ANALYSIS STANDARDS

电子探针、扫描电镜分析用标准样品

AMO250超级纳米光栅

用于扫描电镜放大倍率校验的优质标样

1．标准样品的来源：AMO250 是德国AMO公司研制的高精度光栅，可直接用于扫描电镜和电子探针的图像放大倍率校验

2．标准样品的制备方法：该光栅是使用一种特殊的热压印膜光刻微纳米加工技术指标的特种光栅，该光栅以单晶硅为基片，上有多层膜，最表面为白金，导电性良好，适用于现代高倍率的场发射扫描电镜的放大倍率校准。

3．标准样品的形状、规格和包装：

    标准样品大小为5mmX5mm，正方形, 单个标样表面刻有两万条条栅，固定在直径约14mmX5mm高的铜台上。上述铜台放置于小盒子。

4．标准样品的均匀性：本标准样品条栅周期为250nm，定值精度极高。这是光栅加工工艺本身所决定的。单线条宽约100nm；光栅宽度均匀，线条平直，由于光栅的线与沟的高差大于其线宽，在扫描电镜的二次电子图像上，反差优良，易于观察测量（见下面照片）；线距均匀性标准偏差为：<0.21％。

5．标准样品的稳定性：标准样品基质材料为单晶硅，材料性质稳定。在对标准样品进行观察时，可看到标准样品具有良好的导电性，并且在扫描电镜下所产生的图形具有很好的对比度，在扫描电镜下或光学显微镜下进行多次长时间的观察后，未见标准样品图形或线距结构发生变形或其他损坏，即标准样品在电子束重复照射下是稳定的。在某些老型号的扫描电镜上使用时，可以加厚贵金属导电层，已增加其导电性。

6．标准值和置信限：本系列标准样品的线距值由德国联邦物理研究所（PTB）使用一台大范围计量型扫描力显微镜（M-LRSFM）进行测量，测量结果可直接溯源至米定义计量基准。各线距结构的测量值分别为： 250nm±0.5nm，置信限为95％，k＝2。

7．参考值和信息值：无。

8．标准样品线距的测定方法：本标准样品的线距值由德国联邦物理研究所（PTB）使用一台大范围计量型扫描力显微镜（M-LRSFM）进行测量，也使用了高精度的扫描电镜直接观察与测量。

9．预期用途：（1）可用于扫描电镜的图像的放大倍率进行检查或校正，是校准从5000～150,000×范围的图像放大倍率的最有效的图形标准样品；（2）可直接用于同一量级物体长度的精确比对测量；（3）对样品台倾斜角和电子倾斜以及旋转调整功能的检验也有较好的作用；（4）利用标样上的“点”“线”图像，可对电子束作漂移检验和样品台复位检验。（5）由于条栅宽度小于100nm,也有利于扫描电镜分辨倍率的检验。

为弥补其在低倍下的不足，建议可与S5000和S1000格栅组合使用。

11．标准样品正确使用方法：标准样品使用时须使用护指套、无尘手套或小镊子，应避免手与样品表面的直接接触；校准图像放大倍率时应使用对多个线距周期的多次重复测量平均值进行校准。

12．标准样品的运输和贮存：标准样品在运输和储存中，最佳状态应保存在真空容器中，或保存在有干燥剂的密闭容器中。为保证与实际标准样品的最小限度的接触，可将其永久装置于基座之上。

13．研制者、参加实验室和分析人员名单：中国地质科学院矿产资源研究所，德国AMO公司等。

14．负责人签名：周剑雄等

15．注意事项：使用前应认真检查标准样品表面有无污染物和损坏，因为这会影响校准。请勿使用已破损或有污染物的标准样品！可用清洁干燥的空气或氮气清除标准样品上的灰尘、碎片或其他污染物，注意不要损坏标准样品, 为保护标准样品，使用时还应注意：

1、尽量使用较低加速电压，如5KeV，避免对标准样品的损伤。

2、避免对标准样品的长时间扫描。

3、必要时可以用溅射仪增加膜厚，最好使用Pt.