经常有一些用户问：要不要订购电子探针？有了扫描电镜，还需要订购电子探针吗？电子探针和扫描电镜差别在哪里？为简便起见，特列下表，从中您不难找到你所需要的答案。除非你经常需要在数万倍的观察研究，或不需要成分的精确定量，你可以或应该订购扫描电镜，否则，电子探针加能谱应是你最佳选择。因为，几乎化相同的钱，只为了二次电子高分辨率一项，而缺失了成分分析中许多更实用的功能，非常不值。
因此，以笔者观察，不仅在大多数地学领域，也包括金属、非金属等材料领域，包括一些综合领域，如理工大学、综合性大学、综合分析测试所、质检部门、公安部门,以及一些已建或在建的投资多少个亿的包含检测在内的许多巨大的工程项目，如汽车、机械、航空、电力等项目，电子探针的使用价值应远远超过扫描电镜的价值。
当然在生物、纳米和电子领域，扫描电镜的作用电子探针无可替代。
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| 电子探针(w灯丝 )+EDS | 扫描电镜 +EDS | 结 论 1 | 结 论 2 |
1 | 图像观察差别 | 二次电子最佳图像倍率 | 10000X 名义：100000X | 50000X 名义：300000X | 扫描电镜图像好，这在某些领域有意义，在多数地学领域没有 意义 | 图像差别主要在二次图像上，标征成分的图像，其实差别不大。如果使用场发射电子探针，这种差别更可忽略不计。 |
BEI最佳图像倍率 | 10000X | 20000X | 边界不清晰 |
X射线最佳图像倍率 | 5000X | 5000X | 因为受特征X射线 |
2 | 定量分析差别 | 成分分析微区大小 | 0.5-1微米 | 0.5-1微米 | 受特征X射线激发区域限制，两者差别不大 | 在成分分析时，扫描电镜高分辨率的优越性没有太大的体现，定性和半定量两者差不多。而很难定量是扫描电镜的最致命的弱点。因此，在某些领域中使它几乎无用武之地。 |
波谱定量分析 （WDS） | 能实现低至0.01%元素的准确定量 | 很难定量 | 受扫描电镜主体本身的局限，再好的波谱和能谱都很难实现高质量的定量，没有可能获得可发表的数据，这是非常致命的 |
能谱定量分析 （WDS） | 能实现低至0.1%元素的准确定量 | 很难定量 |
超轻元素定量分析 | 能 | 实际不能 |
3 | 定性分析差别 | 低于1%元素面分布表征 | 可以用WDS实现 | 不可能 | 两者在基本定性分析上几乎没有差异，但在左侧几个方面电子探针能做到，扫描电镜却做不到 |
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线、面的定量分析表征 | 可以用WDS实现 | 不可能 |
常量元素定量面分布图 | 可以用WDS实现 | 不可以 |
4 | 其他功能比对 | 定量分析难度 | 不难，有许多标准方法提供帮助 |
| WDS和EDS分析难度相近 |
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自动化程度 | 可以多小时全自动 | 全自动有限 |
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分析速度 | 快 | 慢 | 电子探针数小时出几百个数据是没问题的 | 扫描电镜根本没有这种可能 |
5 | 价格 |
| 250-350万 | 250-400万 | 钨灯丝电子探针通常价格可在300万以下 |
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本表主要从介绍电子探针的特点入手，未能充分列举或忽略了扫描电镜的其他一些长处，仅供参考。部分信息来源：www.microbeam.com.cn 欢迎共同讨论：zhoujx2001@sina.com
